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壓電 · 線性位移臺— LS65x.Lab.O / .R (閉環(huán))
室溫 ·壓電運(yùn)動解決?案 —“.Lab 系列“ 良好封裝的位移臺
外形緊湊，動?性能不折扣的壓電線性臺；同時保證優(yōu)質(zhì)的價格空間。
• 超安靜運(yùn)動， 20 kHz驅(qū)動頻率
• 65 mm × 65 mm × 12 mm極緊湊外形設(shè)計
• 閉環(huán)控制 · 位置傳感?持電阻型(.R) 和光學(xué)型(.O)
• ?精度 · 空間傳感分辨率(.O) 1 nm 、10 nm可選
• 經(jīng)濟(jì)型 · 空間傳感分辨率(.R) 100-200nm
• 最?步伐優(yōu)于 10 nm
• 可提供多軸堆疊安裝轉(zhuǎn)接件
• 控制器兼容旋轉(zhuǎn)臺，搖擺臺
• ?持?磁( .NM)、?真空( .HV)和超?真空 ( .UHV)選件
2D ·尺?圖
LS65x.Lab.O / .R 壓電線性臺 — 技術(shù)參數(shù)
可選版本 ? | 正常版本 | .NM | .HV | .UHV | |
.NM 絕對?磁版本； .HV， ?真空版本 ; .UHV ，超?真空版本； | |||||
1 底?尺?*?度 | 65 × 65 mm × 12 mm | ||||
2 主體材料 | 不銹鋼 | 純鈦 | 不銹鋼 | 不銹鋼 | |
3 線纜 & 接頭 | 標(biāo)準(zhǔn)屏蔽線纜 DSub9 接頭 | kapton漆包線， PEEK-2mm插針 | |||
運(yùn)動參數(shù)-空間推薦安裝形式 I. (下列性質(zhì)均在推薦安裝形式下測得) | |||||
4 運(yùn)動?程 | 30 mm | ||||
5 最?速度 | ~ 20 mm/s | ||||
6 最?步伐 | ~ 10 nm | ||||
7 驅(qū)動頻率 | Max. 20 kHz (超安靜運(yùn)動) | ||||
8 最??平推? | 2 N | ||||
9 保持? | 5 N | ||||
0.3 mrad / 0.2 mrad | |||||
10 全?程俯仰/偏擺 | |||||
運(yùn)動參數(shù)-空間推薦安裝形式 II. (下列性質(zhì)均在推薦安裝形式下測得) | |||||
11 | 最?垂直負(fù)載 | 2 N | |||
12 | 保持? | 5 N | |||
傳感精度 | |||||
13 位置傳感類型 | - 電阻型傳感( .R ) - 光柵尺傳感( .O ) | ||||
14 位置傳感量程 | 30 mm | ||||
15 位置傳感分辨率 | - 電阻型傳感( .R )， 100-200 nm - 光柵尺傳感( .O )， 10 nm， 1nm可選(默認(rèn) 10nm) | ||||
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